VAT快速截止閥25740-QE99-0001是一款專(zhuān)為快速隔離回流事件而設(shè)計(jì)的高速截止閥。它能夠在極短的時(shí)間內(nèi)（通常不到10毫秒）完全關(guān)閉，從而可靠地防止回流到制程腔體或管道系統(tǒng)的風(fēng)險(xiǎn)。該閥門(mén)采用流量控制運(yùn)動(dòng)，具有反應(yīng)時(shí)間快、流導(dǎo)優(yōu)化、特殊表面涂層減少副產(chǎn)品污染等特點(diǎn)。

截止閥的主要要求是其對(duì)任何回流事件的可靠和快速的緊急隔離。257旨在提供靈敏的高速隔離功能，可靠地防止回流到制程腔體或管道系統(tǒng)的風(fēng)險(xiǎn)。

25.7 HV 快速關(guān)閉閥是流量控制的。沒(méi)有任何子系統(tǒng)（傳感器和執(zhí)行器）的直接操作設(shè)計(jì)提供了高速隔離，具有低復(fù)雜性和低故障風(fēng)險(xiǎn)。從起初的回流脈沖到完全隔離不到 10 毫秒。

作為一種解決方案，截止閥不給系統(tǒng)增加電導(dǎo)屏障。25.7 的特殊流量?jī)?yōu)化設(shè)計(jì)在這方面樹(shù)立了標(biāo)準(zhǔn)，在高電導(dǎo)和快速隔離之間實(shí)現(xiàn)了平衡。

在氣流中有副產(chǎn)品的工藝中使用時(shí)，例如：在前級(jí)應(yīng)用中，快速關(guān)閉閥上的任何污染物積累都會(huì)降低電導(dǎo)，并可能對(duì)其隔離能力產(chǎn)生負(fù)面影響。這一與工藝相關(guān)的挑戰(zhàn)通過(guò)一種特殊的表面涂層來(lái)解決，該涂層可顯著減少大多數(shù)副產(chǎn)品的積累。額外的加熱選項(xiàng)可用于避免閥門(mén)表面的工藝氣體冷凝。

25.7 HV 快速關(guān)閉閥的尺寸為 DN 50 - 160mm (2“ - 6”)。 閥體由不銹鋼制成。DN63 至 DN160 (2½“ - 6”) 的標(biāo)準(zhǔn)法蘭為 ISO-K，DN50 (2“) 的標(biāo)準(zhǔn)法蘭為 ISO-KF。

對(duì)于具有非常腐蝕性過(guò)程氣體的應(yīng)用，可以使用 FFKM 密封件。

高速隔離：能夠在極短的時(shí)間內(nèi)完全關(guān)閉，有效防止回流事件。

流量?jī)?yōu)化設(shè)計(jì)：在高電導(dǎo)和快速隔離之間實(shí)現(xiàn)了平衡，提高了系統(tǒng)的整體性能。

特殊表面涂層：可顯著減少副產(chǎn)品的積累，降低電導(dǎo)損失和隔離能力下降的風(fēng)險(xiǎn)。

高水平的保護(hù)：延長(zhǎng)了閥門(mén)的使用壽命，降低了維護(hù)成本。

易于安裝：簡(jiǎn)化了安裝過(guò)程，提高了工作效率。

購(gòu)置成本低：在提供高性能的同時(shí)，保持了較低的購(gòu)置成本。