MicroSeal 系列是高純度、高完整性密封件的完整產(chǎn)品線，適用于工業(yè)和半導(dǎo)體應(yīng)用，包括低流量、高流量、高壓和低壓降。我們還提供孔口密封件和盲孔密封件，用于封閉備用端口。其他主要優(yōu)點(diǎn)包括高清潔度和無源、富鉻、低 Ra 表面光潔度。MicroSeals 可改裝為標(biāo)準(zhǔn)的 “C ”型密封系統(tǒng)。我們的密封件符合 SEMI 標(biāo)準(zhǔn) PR 3.1、3.5 和新的大流量標(biāo)準(zhǔn)。MicroSeal 的設(shè)計具有更柔軟、更順從的界面，可根據(jù)配合表面自行成型，確保泄漏密封性，并在不犧牲回彈特性的情況下去除虛擬泄漏。這是市場上具有高回彈性的高順應(yīng)性密封件。MicroSeals 的回彈率是同類密封件設(shè)計的十倍之多，而且對空腔公差的容忍度特別高。這確保了密封面在高壓力、溫度和振動條件下保持緊密接觸。所有這些特性都是在低壓縮率的情況下實(shí)現(xiàn)的，從而確保了較高的通過。

微密封組件

模塊化系統(tǒng)

1.1" W

PR-3.1 MFC 端口LRC

優(yōu)化的內(nèi)徑，可在中流量、高流量、蒸汽和液體輸送系統(tǒng)中實(shí)現(xiàn)低壓降

低壓縮率，確保氣體/液體輸送系統(tǒng)的高可靠性

密封回彈力是傳統(tǒng)設(shè)計的 10 倍，可在沖擊和振動條件下實(shí)現(xiàn)泄漏完整性

符合 SEMI PR 3.1 標(biāo)準(zhǔn)

高純度雙熔體 316 不銹鋼

潔凈被動式富鉻表面

5 Ra 潤濕表面處理

減免了高成本的返工和報廢現(xiàn)象

4 個間隙孔，帶用于 M4 緊固件的固定片

4 個泄漏測試孔

microseal 系列 60 p/n ms-028-062

microseal 固定器

工業(yè)、半導(dǎo)體